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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

近些年北京大学和科学院北京真空物理实验室重点研究有机复合薄膜的超高密度信息存储器件，其制备的关键技术是纳米厚度的高质量功能薄膜。当今的薄膜形成过程中能够保持真空纯洁环境，故可以得到高质量的薄膜。物理气相沉积（PVD）技术主要有蒸发、溅射镀、离子镀、分束外延和离子团束镀等。

在分析了真空方法制备有机功能薄膜的几种技术后，经比较认为，离子团束（ICB）沉积技术用于制备有机功能薄膜是适用的。它是将材料蒸发经过绝热膨胀过程，电离过程形成荷电原子团，经历加速被沉积到基底上。原子在基底表面具有较大的迁移率，这有利于薄膜的成核和晶粒生长，形成高质量的薄膜，通过控制绝热过程，电离电压，加速电压和基底温度可以制成晶体、多晶或无定形薄膜。

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真空泵维修在信息薄膜加工中的应用

未来的家电中将主要为新的四大件:具有多媒体的彩电、计算机和音响组合体的多功能信息系统;具有真空冷冻和真空保鲜功能的电冰箱;具有真空脱水功能的洗衣机以及具有监控室内空气新鲜程度的空调器。这些家用电器中,有的直接应用真空技术,有的间接利用真空技术得到的加工成果。

因为不论是计算机,还是各种自动化电器,它们的基础是微电子器件。其中重要的是在规模集成电路。现今提起微电子器件几乎是家喻户晓,老幼皆知,因为它在现今人类社会的生产和生活中的作用是任何其它工业产品不能与之相比的。

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真空泵维修技术的主要特点和优势

PVD镀膜(离子镀膜)技术的主要特点和优势—和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较，PVD离子镀膜具有如下优点：

A.膜层与工件表面的结合力强，更加持久和耐磨

B.离子的绕射性能好，能够镀形状复杂的工件0v+R0S4

C.膜层沉积速率快，生产

D.可镀膜层种类广泛

E.膜层性能稳定、安全性高(获得FDA认证，可植入人体).

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